CARL
Chemisches Aufweiten von Resist-Linien (Siemens)
Definition
Von Siemens entwickeltes Verfahren zum chemischen Aufweiten von Resist-Strukturen in der Halbleiterfertigung. CARL verbessert die Auflösung bei der Lithografie.
IT/Elektro
Chemisches Aufweiten von Resist-Linien (Siemens)
Von Siemens entwickeltes Verfahren zum chemischen Aufweiten von Resist-Strukturen in der Halbleiterfertigung. CARL verbessert die Auflösung bei der Lithografie.