PCD
Plasma Coupled Device
Definition
PCD (Plasma Coupled Device) ist ein Bauteil, das Plasmatechnologie zur Signalverarbeitung oder Detektion nutzt. Plasma-gekoppelte Geräte finden Anwendung in der Spektroskopie und Halbleiterfertigung. Die Technologie nutzt ionisiertes Gas zur Kopplung elektromagnetischer Signale zwischen verschiedenen Komponenten.